2.1 扩链剂种类的影响
    2.1.1 1,4- 丁 二 醇 扩 链 ：对 于 UV 减 粘 胶 ，要 求 其 UV 固 化 前 具 有 高 的 黏 接 力 和 UV 固 化 后 的 低 剥 离力 。而聚氨酯型胶黏剂的黏合力与异氰酸根 含 量 间 关 系 显 著 。本 文 以 1,4- 丁 二 醇 为 扩 链 剂，—NCO/—OH 摩尔比对减粘胶 UV 光照前/后剥 离力的影响如 Fig.1 所示。UV 光照前的剥离力随着 — NCO/ — OH 摩 尔 比 的 增 大 先 增 大 再 减 小 ，当 —NCO/—OH 摩尔比为 1.3，1.4 和 1.5 时，UV 光照前的剥离力可达到 15 N/25 mm 以上，满足晶圆的加工要求 。含异氰酸根基团的胶黏剂对硅片黏接时， 由于过量的异氰酸酯基团能与硅片表面的羟基等发生反应，有利于剥离力的提高。但当—NCO/— OH 摩尔比超过1.4 后，由于游离的异氰酸根过多， 可与空气中的水反应生成 CO2，胶黏剂在涂膜过程 中可能产生气泡，使剥离力降低，与文献中结论 一致。所有样品 UV 固化后剥离力在 3.2 N/25 mm 左 右 ，比 UV 光 照 前 有 较 大 幅 度 的 降 低 ，是 由 于 HTPB 的分子结构（如 Fig.2 所示）中含有较多的主链 和侧基双键，在光引发剂 TPO 的作用下发生了明显 的交联反应，这种交联会产生体积收缩，从而使胶 黏剂与被黏物体之间的界面产生褶皱而发生体积收缩，黏结点减少 。由于交联程度较低，交联密度小，使得体积收缩程度较小，UV 固化后剥离力较大，无法满足晶圆加工要求。

    2.1.2 1,4-丁烯二醇扩链：由于 1,4-丁二醇为扩链剂 时，UV 固化后减粘胶的剥离力降低有限，可能是因为聚氨酯胶黏剂中能发生交联的位点不够，因此本文引入含有碳碳双键的 1,4-丁烯二醇作为扩链剂， 增加分子的交联密度。借鉴 Fig.1 中—NCO/—OH 摩尔比为 1.3，1.4 和 1.5 时，UV 光照前的剥离力能满足要求，本节中仍设定相同的—NCO/—OH 摩尔 比，所得减粘胶 UV 光照前/后的剥离力如 Fig.3 所示。UV 光照前，1,4-丁烯二醇的扩链效果与 1,4-丁 二醇类似，剥离力均能达到 15 N/25 mm 以上，其2.1.2 1,4-丁烯二醇扩链：由于 1,4-丁二醇为扩链剂时，UV 固化后减粘胶的剥离力降低有限，可能是因为聚氨酯胶黏剂中能发生交联的位点不够，因此本文引入含有碳碳双键的 1,4-丁烯二醇作为扩链剂， 增加分子的交联密度。鉴 Fig.1 中—NCO/—OH 摩尔比为 1.3，1.4 和 1.5 时，UV 光照前的剥离力能 满足要求，本节中仍设定相同的—NCO/—OH 摩尔比，所得减粘胶 UV 光照前/后的剥离力如 Fig.3 所 示。UV 光照前，1,4-丁烯二醇的扩链效果与 1,4-丁 二醇类似，剥离力均能达到 15 N/25 mm 以上，其中中—NCO/—OH 摩尔比为 1.4 时，UV 光照前的剥离力达到 19.5 N/25 m。UV 光照后，1,4-丁烯二醇的扩链 减粘胶的剥离力明显低于 1,4-丁二醇扩链体系，剥离力均为 1.8 N/25 mm 左右。这是由于 1,4-丁烯二 醇的分子结构中含 C=C 双键，增加了聚氨酯胶黏剂 的 C=C 双键含量，使得 UV 光照时交联程度增大、交联密度增加，固化后体积收缩程度加大，有效降低了剥离力 。这是因为黏附性的降低也可能与较高的交联密度有关，这也导致了较高的凝胶率 。当 —NCO/—OH 摩尔比为 1.4 时，UV 固化后，1,4-丁烯 二醇、1,4-丁二醇扩链的减粘胶的交联密度分别为 8.6×10-3 mol/cm3 和 3.74×10-3 mol/cm3 ，凝胶率分别为 62.5% 和 55.8% ，固 化 体 积 收 缩 率 分 别 为 8.1% 和 7.5%。但此时 UV 固化后剥离力仍无法满足晶圆的 加工要求。

2.2 多官能度丙烯酸酯类单体种类的影响
     以 1,4-丁烯二醇扩链时，按照—NCO/—OH 摩尔比为 1.4，分别加入二官能度单体 TPGDA、三官能度 单 体 TMPTA，能 进 一 步 增 加 UV 固 化 时 的 交 联 密 度，实现 UV 减粘胶在 UV 固化后的剥离力小于 0.5 N/25 mm 的要求 。加入不同官能度可交联单体对 UV 减粘胶剥离力的影响如 Tab. 1 所示，加入多官能 度丙烯酸酯类单体后，UV 减粘胶在 UV 固化后的剥离力都明显降低。这是因为在 UV 照射后，聚氨酯胶黏剂和多官能度丙烯酸酯类单体相互交联，形成 三维交联网络结构，产生体积收缩会使胶黏剂与被 黏物体之间的界面产生褶皱使其体积收缩，减少黏结点。由于在 UV 固化后碳碳双键发生了交联，使得聚合物链段的运动受到限制，这影响了黏合剂对基底的润湿过程，使得 UV 减粘胶与底物之间的接 触 面 积 减 少  。其 中 TPGDA 为 二 官 能 度 单 体 ，TMPTA 为三官能度单体，由图可知，TPGDA 的加入 与 TMPTA 的加入相比，TMPTA 的加入在 UV 光固化 后 剥 离 力 更 小 ，为 0.204 N/25 mm，其 交 联 密 度 为 7.85×10-2 mol/cm3 ，凝胶率为 86.4%，固化体积收缩率 为 11.9%。而 TPGDA 的加入在紫外光固化后剥离力为 0.45 N/25 mm，交联密度为 6.26×10-2 mol/cm3 ，凝胶率为 82.7%，固化体积收缩率为 10.5%。这是因为，不同可交联单体的双键交联程度与单体官能度有关，官能度越高的可交联单体含有的不饱和碳 碳双键越多，因此其 UV 固化后的交联程度越大， 交联密度越高，固化后体积收缩率增大，凝胶率越高 。黏 附 性 的 降 低 也 可 能 与 较 高 的 交 联 密 度 有 关，这也导致了较高的凝胶率 ，最终使 UV 减粘胶在 UV 固化后的剥离力降至更低。由 Tab. 1 可以看出，当—NCO/—OH 摩尔比为 1.4 时，UV 固化前的黏接力最高可达 19 N/25 mm，UV 固化后的剥离力降低至 0.2 N/25 mm。

2.3 化学结构表征
    以 1,4-丁烯二醇扩链，按照—NCO/—OH 摩尔比为 1.4，加入三官能度丙烯酸酯单体 TMPTA 制备的 UV 减粘胶在 UV 固化前/后的红外光谱如 Fig. 4 所 示 。样 品 均 在 3340 cm- 1 处 ，出 现 了 —NHCO 的 N—H 伸缩振动峰；1710 cm-1 处为 C=O 的伸缩振动 峰；2942 cm-1 和 2913 cm-1 分别为—CH3和—CH2的伸缩振动峰，1635 cm-1 处为 C=C 双键的伸缩振动峰， 表 明 样 品 呈 现 典 型 的 聚 氨 酯 结 构 。UV 固 化 后 ， 1635 cm- 1 处的 C=C 双键吸收峰明显减弱，说明在 UV 作用下，端羟基聚丁二烯、1,4-丁烯二醇、三官能度丙烯酸酯单体（TMPTA）中的 C=C 均参与了交联反应 。

2.4 接触角分析
    对—NCO/—OH 摩尔比为 1.4，分别加入二官能 度单体 TPGDA、三官能度单体 TMPTA 制备的 UV 减 粘胶固化后的胶膜进行水接触角和 3D 激光测量显 微镜测试，水接触角实验结果如Fig. 5 所示。加入 TPGDA 和 TMPTA 胶膜的水接触角分别为 94.1°和 101.4°。固体表面的接触角大小与固体材料的表面粗糙度有关，表面粗糙度越大，接触角越大，润湿性降低 。由于紫外光固化后，C=C 双键会发生交联， 这种交联会产生体积收缩，产生褶皱，表面粗糙度增加 ，使 其 水 接 触 角 增 大 。TMPTA 的 加 入 比 TPGDA 的加入，对表面粗糙度影响更显著。

2.5 形貌表征
    以 1,4-丁烯二醇扩链，按照—NCO/—OH 摩尔 比为 1.4，未加入多官能度丙烯酸酯类单体及加入二 官能度单体 TPGDA、三官能度单体 TMPTA 制备的 UV 减粘胶固化后胶膜微观形貌如 Fig. 6 所示。未加入多官能度丙烯酸酯类单体的减粘胶形貌较平， 收缩和褶皱很浅，高低起伏程度较小（Fig. 6（a））；加入 TPGDA 的减粘胶 UV 固化后，胶膜所形成的收 缩 和 褶 皱 较 浅 ，褶 皱 数 量 少（Fig. 6（b））；加 入 TMPTA 的减粘胶 UV 固化后胶膜的收缩和褶皱深， 褶皱数量多（Fig. 6（c））。说明未加多官能度丙烯 酸酯类单体及不同官能度单体的加入，在 UV 固化作用下，发生交联的程度不同，导致体积收缩程度不同 ，表 面 粗 糙 度 不 同 ，所 形 成 的 图 案 也 有 所 不 同。Tab. 2 为 3 种样品相应的表面粗糙度相关参数， 其中 Sa为算术平均高度、Sq为均方高度、Sdr为界面的 展开面积比。未加入多官能度丙烯酸酯类单体的 减粘胶 UV 固化后胶膜的 Sa, Sq 和 Sdr 值分别为 1.160 μm, 1.090 μm 和 0.031 μm; 固 化 体 积 收 缩 率 为 8.1%。加入 TPGDA 的减粘胶 UV 固化后胶膜的 Sa, Sq 和 Sdr 值分别为 1.826 μm, 2.188 μm和 0.067 μm; 固 化体积收缩率为 10.5%。加入 TMPTA 的减粘胶 UV 固化后胶膜的 Sa, Sq 和 Sdr 值分别为 2.092 μm, 2.497 μm和 0.396 μm; 固化体积收缩率为 11.9%。可见加入 TMPTA 的 减 粘 胶 UV 固 化 后 胶 膜 的 粗 糙 度 更 大。粗糙度大的样品，交联程度越大，体积收缩形 成的褶皱展开面积比大，使得胶黏剂和硅片之间的 粘接面积越少，从而大大降低了剥离强度。因此， 选择三官能度单体对于减粘胶 UV 固化后剥离力的减小更有利。