[发明公布] 低温固化、低热膨胀光敏聚酰亚胺树脂及其光刻胶

申请公布号：CN121005901A

申请公布日：2025.11.25

申请人：中国科学院长春应用化学研究所

摘要：本发明提供了低温固化、低热膨胀光敏聚酰亚胺树脂，其特征在于，具有式I所示结构，式I中，X为聚酰胺酸酯聚合的四羧酸二酐的残基；Y至少包含含氮芳杂环结构的基团；R1为C4～C20的可聚合烯烃结构的基团；R2为C1～C12的直链或支链烷烃基，或含有醚键‑O‑的直链或支链烷烃基；M至少包含胺基、酐基中的一种；n为聚合度，n＝2～150。本发明提供的光敏聚酰亚胺树脂同时含有烯丙基侧链、脂肪侧链，主链含有含氮芳杂环，可以同时达到低固化温度、低热膨胀系数、与铜基材的高附着力、且在环戊酮显影的分辨率目标。